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平面型相变存储器的制备及性能研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012
杜小锋
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一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102288644A, 申请日期: 2011-12-21, 公开日期: 2011-12-21
李铁; 许磊; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2012/01/06
具有非均匀线间距加热电阻丝的矩形微型加热器及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102256386A, 申请日期: 2011-11-23, 公开日期: 2011-11-23
许磊; 李铁; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/01/06
具有非均匀线宽加热电阻丝的矩形微型加热器及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102256387A, 申请日期: 2011-11-23, 公开日期: 2011-11-23
许磊; 李铁; 王跃林
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/01/06
一种基于MEMS工艺的可调FP光学滤波器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102225739A, 申请日期: 2011-10-26, 公开日期: 2011-10-26
吴亚明; 翟雷应; 徐静; 李四华; 钟少龙
收藏  |  浏览/下载：149/0  |  提交时间：2012/01/06
一种体硅可调谐光学滤波器及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102200667A, 申请日期: 2011-09-28, 公开日期: 2011-09-28
李四华; 吴亚明
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/01/06
可实现敏感生化膜应力释放的柱状电极阵列结构及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102103058A, 申请日期: 2011-06-22, 公开日期: 2011-06-22
杨恒; 吴燕红; 成海涛; 戴斌; 吴紫阳
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/01/06
在单硅片上单面微加工制作的悬臂梁加速度传感器及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101968495A, 申请日期: 2011-02-09, 公开日期: 2011-02-09
李昕欣; 王家畴
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低热机械噪声MEMS加速度计设计 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 期号: 11
杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明
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自组装单层膜模板控制生长氧化亚铜晶体及其对DMMP气体的检测(英文) 期刊论文
无机材料学报, 2011, 期号: 10
杨天天; 许鹏程; 左国民; 李昕欣
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