| 一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器及方法 | |
| 李铁 ; 许磊 ; 王跃林 | |
| 2011-12-21 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN102288644A |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器及制作方法，传感器的结构包括：衬底框架，隔热腔体，加热膜区，支撑悬梁，加热电阻丝，供电引线，供电电极，叉指电极，探测引线，探测电极，和敏感膜。其结构特征为：位于隔热腔体上方的加热膜区通过四根支撑悬梁与衬底框架相连；加热电阻丝以折线的形式排布在加热膜区上，并通过供电引线与衬底框架上的供电电极相连；叉指电极排布在加热电阻丝的间隙，并通过探测引线与探测电极相连；敏感膜位于加热膜区上，覆盖整个加热电阻丝和叉指电极并和叉指电极有良好的电联接。 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2011-12-21 |
| 申请日期 | 2011-07-08 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 201110191533.9 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48635]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李铁,许磊,王跃林. 一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器及方法. CN102288644A. 2011-12-21. |
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