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上海微系统与信息技术... [6]
内容类型
专利 [4]
成果 [2]
发表日期
2009 [1]
2005 [2]
2004 [1]
2003 [1]
2000 [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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一种大角度扭转微镜面驱动器制作方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101549848, 申请日期: 2009-10-07, 公开日期: 2009-10-07
李四华
;
徐静
;
吴亚明
收藏
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浏览/下载:487/0
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提交时间:2012/01/06
一类用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1632552, 申请日期: 2005-06-29, 公开日期: 2005-06-29
洪婷
;
张永刚
;
朱福英
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2012/01/06
一种用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液
成果
鉴定: 无, 2005
洪婷
;
张永刚
;
朱福英
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2013/04/12
高温压力传感器芯片的制作方法
成果
鉴定: 无, 2004
未知
收藏
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2013/04/12
氢氧化钾溶液对(100)硅上<100>晶向的凸角补偿方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1442511, 申请日期: 2003-09-17, 公开日期: 2003-09-17
李昕欣
;
王浙辉
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2012/01/06
高温压力传感器芯片的制作方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1255734, 申请日期: 2000-01-01, 公开日期: 2000-06-07
张轩雄
;
陆德仁
;
王文襄
;
杨根庆
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2012/01/10
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