一种用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液 | |
洪婷 ; 张永刚 ; 朱福英 | |
2005 | |
获奖类别 | 鉴定 |
获奖等级 | 无 |
中文摘要 | 本发明提供一类适用于电化学电容-电压(ECV)方法测量锑化物半导体材料载流子浓度剖面分布电解液,目的在于提高电化学电容-电压方法测量锑化物材料载流子浓度的准确性。 其基本特征在于:基础溶液为酒石酸钾钠的水溶液;在测量不同导电类型(p型或n型)的锑化物半导体材料时,分别添加酸性溶液或者碱性溶液以形成可靠的电解液-半导体肖特基结,从而达到准确测量的目的。添加的酸性溶液可以是盐酸、酒石酸或醋酸等非氧化性酸或它们的混合物,添加的碱性溶液可为氢氧化钠或氢氧化钾与乙二胺四乙酸(EDTA)的混合溶液。在电化学C-V方法 |
语种 | 中文 |
内容类型 | 成果 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113536] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 洪婷,张永刚,朱福英. 一种用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液. 鉴定:无. 2005. |
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