一种用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液
洪婷 ; 张永刚 ; 朱福英
2005
获奖类别鉴定
获奖等级
中文摘要本发明提供一类适用于电化学电容-电压(ECV)方法测量锑化物半导体材料载流子浓度剖面分布电解液,目的在于提高电化学电容-电压方法测量锑化物材料载流子浓度的准确性。 其基本特征在于:基础溶液为酒石酸钾钠的水溶液;在测量不同导电类型(p型或n型)的锑化物半导体材料时,分别添加酸性溶液或者碱性溶液以形成可靠的电解液-半导体肖特基结,从而达到准确测量的目的。添加的酸性溶液可以是盐酸、酒石酸或醋酸等非氧化性酸或它们的混合物,添加的碱性溶液可为氢氧化钠或氢氧化钾与乙二胺四乙酸(EDTA)的混合溶液。在电化学C-V方法
语种中文
内容类型成果
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113536]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果
推荐引用方式
GB/T 7714
洪婷,张永刚,朱福英. 一种用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液. 鉴定:无. 2005.
个性服务
查看访问统计
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。


©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by CSpace