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| 反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响 期刊论文
半导体技术, 2011, 期号: 01
戚玉婕; 车录锋; 孙腾; 王跃林
  收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2012/04/13
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| 微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器阵列及真空封装技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
李艳龙
收藏 | 浏览/下载：142/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2009
于海涛
收藏 | 浏览/下载：31/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 基于MEMS的光纤加速度计的研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008
曾凡林
收藏 | 浏览/下载：187/0 | 提交时间：2012/03/06
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| SOI微机械结构和相关器件研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008
武爱民
收藏 | 浏览/下载：25/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 集成电路芯片圆片级测试用MEMS探卡技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008
汪飞
收藏 | 浏览/下载：50/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 一种悬臂梁结构、制作方法及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101066749, 申请日期: 2007-11-07, 公开日期: 2007-11-07
王跃林; 车录锋; 熊斌; 范克彬
收藏 | 浏览/下载：90/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101038298, 申请日期: 2007-09-19, 公开日期: 2007-09-19
车录锋; 徐玮鹤; 熊斌; 戈肖鸿; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007
王育才
收藏 | 浏览/下载：84/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 一种音叉式微机械陀螺及其制作方法 成果
鉴定: 无, 2007
车录锋; 熊斌; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：59/0 | 提交时间：2013/04/12 |
