| 题名 | 集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测 |
| 作者 | 于海涛 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2009 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 微机电系统 生化传感器 悬臂梁 电热驱动 压阻检测 快速重复检测 超枝化敏感膜 多壁碳纳米管 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文的研究属于半导体传感器和微电子机械系统技术领域，内容分为三个部分。第一部分对本研究领域的发展和谐振式悬臂梁的基本理论进行综述，该部分由第一章和第二章构成。第二部分为硅微机械谐振式悬臂梁传感器的设计、制作与生化测试，由第三到五章构成。第三部分为第六章，介绍了一种利用单根悬臂梁检测多种物质的方法。第一部分综述了微米集成技术与纳米自组装技术结合的微纳机电传感器，引出本论文采用的微纳技术结合的谐振式悬臂梁传感器的研究内容。在第二部分的研究中，一方面对电热驱动方式进行了优化，并采用体硅微加工工艺制作了集成驱动 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 101 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83140]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于海涛. 集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2009. |
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