| 一种悬臂梁结构、制作方法及应用 | |
| 王跃林 ; 车录锋 ; 熊斌 ; 范克彬 | |
| 2007-11-07 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN101066749 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种以硅各向异性腐蚀为关键技术制造的悬臂梁结构和制 作方法，属于微电子机械系统领域。其特征在于，悬臂梁的断面为五边形， 悬臂梁上表面为单晶硅(100)晶面，悬臂梁下表面由两个(111)晶面组成。 悬臂梁结构是由各向异性腐蚀出来的，由(111)面作为腐蚀终止面，自动 终止硅悬臂梁的腐蚀，悬臂梁结构可精确控制，使得悬臂梁的制造成品率大 大提高。本发明可应用于多种MEMS器件的结构中，如电容式加速度传感 器、电阻式加速度传感器、微机械陀螺、谐振器等，可以大大提高器件制作 工艺的控制水平，提高器件制作的 |
| 是否PCT专利 | 是 |
| 公开日期 | 2007-11-07 |
| 申请日期 | 2007-06-12 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 200710041875.6 |
| 专利代理 | 潘振甦 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48487]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王跃林,车录锋,熊斌,等. 一种悬臂梁结构、制作方法及应用. CN101066749. 2007-11-07. |
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