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| 三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
蔡梅妮
  收藏 | 浏览/下载：162/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
王军诚
收藏 | 浏览/下载：99/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 硅玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
张志强
收藏 | 浏览/下载：150/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 纳米相变存储单元的数值模拟研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
龚岳峰
收藏 | 浏览/下载：58/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健
收藏 | 浏览/下载：61/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林
收藏 | 浏览/下载：25/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 低温玻璃浆料圆片级真空封装的研究 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 62-64
王伟; 熊斌; 王跃林; 马颖蕾
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2013/02/22
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| MEMS圆片级三维混合集成封装结构及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102241388A, 申请日期: 2011-11-16, 公开日期: 2011-11-16
徐高卫; 罗乐; 陈骁; 焦继伟; 宓斌玮
收藏 | 浏览/下载：57/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 利用可调性光子晶体自准直效应的光束调节器及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102231034A, 申请日期: 2011-11-02, 公开日期: 2011-11-02
蒋寻涯; 周传宏
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 一种具有亚微米间隙微机械谐振器及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102122935A, 申请日期: 2011-07-13, 公开日期: 2011-07-13
熊斌; 吴国强; 徐德辉; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2012/01/06 |
