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| 大高宽比硬X射线波带片制作及聚焦测试 期刊论文
光学精密工程, 2017
作者: 谢常青 ; 王冠亚; 牛洁斌; 史丽娜; 李海亮
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| 一种对纳米尺度元件进行套刻的方法 专利
专利号: CN201110087449.2, 申请日期: 2014-12-17, 公开日期: 2012-10-17
作者: 朱效立; 刘明; 谢常青; 方磊; 李冬梅
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| 一种亚波长极紫外金属透射光栅及其制作方法 专利
专利号: CN201110279269.4, 申请日期: 2014-11-12, 公开日期: 2013-04-03
作者: 朱效立; 史丽娜; 李冬梅; 刘明; 谢常青
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| 一种大高宽比衍射光学元件的制作方法 专利
专利号: CN201010544430.1, 申请日期: 2014-03-26, 公开日期: 2012-05-23
作者: 谢常青; 刘明; 朱效立; 史丽娜; 李海亮
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| 在厚负性高分辨率电子束抗蚀剂HSQ上制作密集图形的方法 专利
专利号: CN200810116381.4, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2010-01-13
作者: 陈宝钦; 刘明; 赵珉; 朱效立
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| 采用电子束直写曝光制作声表面波器件的方法 专利
专利号: CN200810222329.7, 申请日期: 2011-10-12, 公开日期: 2010-03-24
作者: 赵以贵; 刘明; 牛洁斌
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| 一种电子束曝光散射参数的提取方法 专利
专利号: CN200910080196.9, 申请日期: 2011-09-07, 公开日期: 2009-08-19
作者: 赵珉; 牛洁斌; 刘明; 陈宝钦
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| 一种纳米尺度图形的制作方法 专利
专利号: CN200810223398.X, 申请日期: 2011-04-20, 公开日期: 2009-03-11
作者: 刘明; 牛洁斌; 赵珉; 陈宝钦
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| 一种扫描电镜放大倍率校准标准样品的制作方法 专利
专利号: CN200910303914.4, 申请日期: 2011-04-20, 公开日期: 2009-12-09
作者: 牛洁斌; 刘明; 陈宝钦; 赵珉
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| 采用正性电子抗蚀剂制备金属纳米电极的方法 专利
专利号: CN200510130438.2, 申请日期: 2009-06-03, 公开日期: 2007-06-13
作者: 龙世兵; 陈宝钦; 刘明
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