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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Alignment Method for Linear-Scale Projection Lithography Based on CCD Image Analysis 期刊论文 SENSORS, 2018, 卷号: 18 作者:  Ren, Dongxu;  Zhao, Zexiang;  Xi, Jianpu;  Li, Bin;  Li, Zhengfeng 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/19 alignment method  grating linear displacement sensor  linear scale  projection lithography   Digital moire fringe measurement method for alignment in imprint lithography 期刊论文 OPTICS AND LASER TECHNOLOGY, 2012, 卷号: 44, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 446-451 作者:  Shao, Jinyou;  Ding, Yucheng;  Tian, Hongmiao;  Li, Xin;  Li, Xiangming 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/10 Imprint lithography  Alignment measurement  Digital moire fringe   Implementation of autofocus in alignment system for layered imprint fabrication 期刊论文 Transactions of Tianjin University, 2009, 卷号: 15, 期号: 4, 页码: 294-299 作者:  Wang, Quandai;  Duan, Yugang;  Lu, Bingheng;  Xiang, Jiawei;  Yang, Lianfa 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/12/18 Algorithm efficiency  Auto-focus algorithm  Computation efficiency  Imprint lithography  Interested regions  Layered fabrication  Layered fabrication process  Modified algorithms   Strategy for a loading force induced overlay position shift in step imprint lithography 期刊论文 PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART B-JOURNAL OF ENGINEERING MANUFACTURE, 2009, 卷号: 223, 期号: 1, 页码: 9-17 作者:  Shao, J. Y.;  Ding, Y. C.;  Liu, H. Z.;  Wang, L.;  Yin, L. 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 imprint lithography  process optimization  alignment  overlay   Alignment measurement method for imprint lithography using moire fringe pattern 期刊论文 OPTICAL ENGINEERING, 2008, 卷号: 47, 期号: 11, 页码: 7 作者:  Shao, Jinyou;  Liu, Hongzhong;  Ding, Yucheng;  Wang, Li;  Lu, Binghen 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 imprint lithography  moire fringe  alignment  measurement   A novel overlay process for imprint lithography using load release and alignment error pre-compensation method 会议论文 作者:  Shao, Jinyou;  Ding, Yucheng;  Tang, Yiping;  Liu, Hongzhong;  Lu, Bingheng 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 imprint lithography  pre-compensation  load release  alignment  overlay