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清华大学 [8]
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会议论文 [3]
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2010 [8]
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Fabrication and efficiency measurement of a multilayer-coated ion-beam-etched laminar grating for extreme ultraviolet region
期刊论文
2010, 2010
Lin, Hui
;
Zhang, Lichao
;
Jin, Chunshui
;
Zhou, Hongjun
;
Huo, Tonglin
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浏览/下载:3/0
提高离子束刻蚀亚微米光栅侧壁陡直度的方法
期刊论文
2010, 2010
孟祥峰
;
李立峰
;
Meng Xiangfeng
;
Li Lifeng
收藏
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浏览/下载:1/0
High-efficiency multilayer-coated ion-beam-etched blazed grating in the extreme-ultraviolet wavelength region
期刊论文
2010, 2010
Lin, Hui
;
Zhang, Lichao
;
Li, Lifeng
;
Jin, Chunshui
;
Zhou, Hongjun
;
Huo, Tonglin
收藏
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浏览/下载:3/0
A method to fabricate convex holographic gratings as master gratings for making flat-fied concave gratings - art. no. 68320W
会议论文
HOLOGRAPHY AND DIFFRACTIVE OPTICS III, Conference on Holography and Diffractive Optics III, Beijing, PEOPLES R CHINA, Web of Science
Zhou, Qian
;
Li, Lifeng
;
Zeng, Lijiang
收藏
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浏览/下载:3/0
In-situ monitoring during ion-beam etching of multilayer dielectric gratings: simulation and experiment
会议论文
Holography, Diffractive Optics, and Applications II, Pts 1 and 2, Conference on Holography, Diffractive Optics and Applications II, Beijing, PEOPLES R CHINA, Web of Science, INSPEC
Lin, H
;
Li, LF
;
Zeng, LJ
收藏
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浏览/下载:3/0
A method to fabricate convex holographic gratings as master gratings for making flat-field concave gratings
会议论文
Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering, Holography and Diffractive Optics III, Beijing, China, INSPEC
Qian Zhou
;
Lifeng Li
;
Lijiang Zeng
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浏览/下载:5/0
Method for controlling groove depth and duty cycle of rectangular photoresist gratings
期刊论文
2010, 2010
Zhao Jinsong
;
Li Lifeng
;
Wu Zhenhua
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浏览/下载:3/0
In situ endpoint detection of reactive ion-beam etching of dielectric gratings with an etch-stop layer using downstream mass spectrometry
期刊论文
2010, 2010
Meng, Xiangfeng
;
Li, Lifeng
收藏
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