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科研机构
清华大学 [2]
微电子研究所 [1]
山东大学 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2010 [2]
2006 [1]
2005 [2]
学科主题
光学薄膜 [1]
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离子束辅助沉积改善铝薄膜的取向生长
期刊论文
2010, 2010
谷宇
;
曾飞
;
高阳
;
潘峰
;
Gu Yu
;
Zeng Fei
;
Gao Yang
;
Pan Feng
收藏
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浏览/下载:3/0
Zr过渡层对Al膜微结构与性能的影响
期刊论文
2010, 2010
李冬梅
;
王旭波
;
潘峰
;
牛洁斌
;
刘明
;
LI Dong-mei
;
WANG Xu-bo
;
PAN Feng
;
NIU Hao-bin
;
LIU Ming
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
制备工艺条件对薄膜微结构的影响
期刊论文
中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 673, 678
田光磊
;
申雁鸣
;
沈健
;
邵建达
;
范正修
收藏
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浏览/下载:878/89
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提交时间:2009/09/22
薄膜
X射线衍射
晶相结构
迁移率
扩散激活能
Zr过渡层对Al膜微结构与性能的影响
期刊论文
压电与声光, 2005, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 5,152-155,163
作者:
牛洁斌
;
李冬梅
;
王旭波
;
潘峰
;
刘明
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/05/26
Al膜
Zr过渡层
附着力
电阻
硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究
期刊论文
真空科学与技术学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 4, 页码: 245-248
作者:
王新昌
;
叶志镇
;
李士玲
;
曹亮亮
;
赵炳辉
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/03
脉冲激光沉积
LiNbO3薄膜
光波导
硅衬底
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