硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究 | |
王新昌; 叶志镇; 李士玲; 曹亮亮; 赵炳辉 | |
刊名 | 真空科学与技术学报
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2005 | |
卷号 | 25期号:4页码:245-248 |
关键词 | 脉冲激光沉积 LiNbO3薄膜 光波导 硅衬底 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6320318 |
专题 | 山东大学 |
作者单位 | 1.浙江大学, 硅材料国家重点实验室, 杭州, 浙江 310027, 中国. 2.浙江大学, 硅材料国家重点实验室, 杭州, 浙江 310027, 中国. 3.浙江大学, |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王新昌,叶志镇,李士玲,等. 硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究[J]. 真空科学与技术学报,2005,25(4):245-248. |
APA | 王新昌,叶志镇,李士玲,曹亮亮,&赵炳辉.(2005).硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究.真空科学与技术学报,25(4),245-248. |
MLA | 王新昌,et al."硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究".真空科学与技术学报 25.4(2005):245-248. |
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