CORC  > 山东大学
硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究
王新昌; 叶志镇; 李士玲; 曹亮亮; 赵炳辉
刊名真空科学与技术学报
2005
卷号25期号:4页码:245-248
关键词脉冲激光沉积 LiNbO3薄膜 光波导 硅衬底
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6320318
专题山东大学
作者单位1.浙江大学, 硅材料国家重点实验室, 杭州, 浙江 310027, 中国.
2.浙江大学, 硅材料国家重点实验室, 杭州, 浙江 310027, 中国.
3.浙江大学,
推荐引用方式
GB/T 7714
王新昌,叶志镇,李士玲,等. 硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究[J]. 真空科学与技术学报,2005,25(4):245-248.
APA 王新昌,叶志镇,李士玲,曹亮亮,&赵炳辉.(2005).硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究.真空科学与技术学报,25(4),245-248.
MLA 王新昌,et al."硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究".真空科学与技术学报 25.4(2005):245-248.
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