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学位论文 [9]
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2015 [1]
2011 [1]
2010 [1]
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PECVD法制备硅与碳化硅纳米线及其研究
学位论文
2015
作者:
潘树亮
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浏览/下载：5/0
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提交时间：2019/12/02
关
键
词：PECVD
硅纳米线
碳化硅纳米线
气-液-固（VLS）生长原理
AAO模板
纳米柱4H-SiC雪崩光电二极管及PECVD法生长氢化非晶碳化硅的光电特性研究
学位论文
2011, 2011
洪荣墩
收藏
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浏览/下载：4/0
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提交时间：2016/02/14
4H-SiC
纳米柱
雪崩光电二极管
等离子增强化学气相
氢化非晶碳化硅
4H-SiC
nano-pillar
avalanche photodiode
PECVD
a-Si1-xCx:H
PECVD法制备非晶碳化硅薄膜的研究
学位论文
2010
作者:
岳冬
收藏
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浏览/下载：1/0
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提交时间：2019/12/18
等离子体增强化学气相沉积碳化硅薄膜生长速度硅碳原子比
PECVD制备a-SiC:H薄膜及激光退火研究
学位论文
2009, 2009
黄俊
收藏
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浏览/下载：2/0
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提交时间：2016/02/14
PECVD
a-SiC:H薄膜
激光退火
PECVD
a-SiC:H films
laser annealing
带电粒子束作用下碳纳米管结构转变的实验研究
学位论文
博士, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2006
胡建刚
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浏览/下载：72/0
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提交时间：2012/04/11
粒子束
碳纳米管
结构转变
碳洋葱
纳米线
塑封TQFP器件及电子模块封装防潮性能的研究
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） , 2000
赵润涛
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浏览/下载：9/0
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提交时间：2012/03/06
塑封TQFP器件
电子模块
封装
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备碳化硅薄膜及其性质研究[D]
学位论文
硕士: 中国科学院上海冶金研究所, 1999
姜利军
收藏
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浏览/下载：121/0
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提交时间：2012/03/06
太阳电池窗口层碳化硅薄膜掺杂研究
学位论文
作者:
许宝玉
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浏览/下载：0/0
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提交时间：2019/12/17
太阳电池
碳化硅薄膜
窗口层
等离子体增强化学气相沉积/(PECVD/)
太阳电池窗口层碳化硅薄膜的研究
学位论文
作者:
司尚卓
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浏览/下载：0/0
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提交时间：2019/12/17
太阳电池
碳化硅薄膜
窗口层
等离子体化学气相沉积(PECVD)
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