| 题名 | PECVD法制备硅与碳化硅纳米线及其研究 |
| 作者 | 潘树亮 |
| 答辩日期 | 2015 |
| 导师 | 杨建锋 |
| 关键词 | 关 键 词：PECVD 硅纳米线 碳化硅纳米线 气-液-固（VLS）生长原理 AAO模板 |
| 学位名称 | 哲学硕士 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| DOI标识 | [db:dc_identifier_doi] |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3238850 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 潘树亮. PECVD法制备硅与碳化硅纳米线及其研究[D]. 2015. |
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