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上海微系统与信息技术... [3]
厦门大学 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
半导体研究所 [1]
上海光学精密机械研究... [1]
内容类型
学位论文 [7]
发表日期
2009 [2]
2004 [1]
2003 [1]
2002 [2]
2001 [1]
学科主题
固体物理与微电子学 [1]
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共7条,第1-7条
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内容类型:学位论文
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用于光通信网络中的可编程波长选择器的研究
学位论文
博士, 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2009
李小奇
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/21
光通信
波分复用
光开关
波长选择器
微机电系统
集成光学
光交叉连接
光上下路复用
电光陶瓷和微机械光束导向技术的研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
董作人
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浏览/下载:69/0
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提交时间:2016/11/28
PLZT
光学相控阵
MEMS
光开关
CCD
FPGA
转动竖直微镜的硅微机械光开关研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2004
杨艺榕
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/06
微机械
光开关
竖直微镜
球透镜
硅基微机械光开关研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2003
王浙辉
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/06
微机械
光开关
硅微加工技术
插入损耗
用于光纤通信的MEMS光开关
学位论文
2002, 2002
许高攀
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/14
光开关
悬臂梁
各向异性腐蚀
optical switch
cantilever
wet anisotropic etching process
硅基 1×3微机械光开关的研究
学位论文
博士后, 北京: 中国科学院半导体研究所, 2002
贾玉斌
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2009/04/13
MEMS器件的设计、模拟与测试
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2001
车录锋
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浏览/下载:75/0
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提交时间:2012/03/06
微电子机械系统
压力传感器
加速度传感器
微机械陀螺
静电致动器
有限元模型
等效电路模型
机械耦合
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