| 题名 | MEMS器件的设计、模拟与测试 |
| 作者 | 车录锋 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2001 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 微电子机械系统 压力传感器 加速度传感器 微机械陀螺 静电致动器 有限元模型 等效电路模型 机械耦合 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本文主要围绕MEMS器件,包括电容式压力传感器,电容式加速度传感器,微机械陀螺,光开关等,进行了器件的设计、模拟和测试等相关工作.所建立的器件设计模型包括理论分析模型,有限元模拟模型,以及集成器件的机械特性与电学特性的等效电学模型.完成的主要工作包括:(1)设计了一种新型的电容式微差压传感器,并用浓硼掺杂KOH腐蚀自停止工艺制作,对其性能进行了有限元模拟和初步测试,检测结果表明该器件对小于100Pa的微差压敏感.(2)建立了加速度传感器、微机械陀螺和用于光开关的静电致动器的结构有限元模型以及静电致动器的耦 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83748]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 车录锋. MEMS器件的设计、模拟与测试[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2001. |
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