| 题名 | 硅基微机械光开关研究 |
| 作者 | 王浙辉 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2003 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 微机械 光开关 硅微加工技术 插入损耗 |
| 学位专业 | 微电子与固体电子学 |
| 中文摘要 | 为了制作低插入损耗、低驱动电压、高消光比、高开关速度并且适合集成工艺批量制作的光纤通信用光开关，本文基于硅微机械加工技术，设计并制作了一种静电驱动的、扭转梁大位移的、竖直微镜自对准的2×2光开关。 本文首先围绕光开关的关键指标，提出了一砷新颖的扭转梁大位移的、竖直微镜的微驱动器设计。计算和模拟显示，该微驱动器驱动电压低(＜36V)，位移大(＞60μm)，基模频率合适(约500Hz)，开关速度快(＜3ms)，解决了光开关低驱动电压，低插入损耗所需的大位移和高基模频率之间的矛盾。以美国康宁公司透镜光纤参数作为 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82761]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王浙辉 . 硅基微机械光开关研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2003. |
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