题名硅基 1×3微机械光开关的研究
作者贾玉斌
学位类别博士后
答辩日期2002
授予单位中国科学院半导体研究所
授予地点北京
导师陈良惠 ; 李玉璋
英文摘要Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-04-13T11:45:31Z; Made available in DSpace on 2009-04-13T11:45:31Z (GMT).; Made available in DSpace on 2009-07-09T01:35:45Z (GMT). No. of bitstreams: 1 disk/eh2002/jyb.pdf: 703200 bytes, checksum: eeaac4fa089d7125be7a0b7454e2d289 (MD5) Previous issue date: 2002
语种中文
学科主题固体物理与微电子学
公开日期2009-04-13 ; 2009-07-09 ; 2010-10-15
内容类型学位论文
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/5147]  
专题半导体研究所_中国科学院半导体研究所(2009年前)
推荐引用方式
GB/T 7714
贾玉斌. 硅基 1×3微机械光开关的研究[D]. 北京. 中国科学院半导体研究所. 2002.
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