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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 电容式双端固支梁碳化硅MEMS谐振器的研制 学位论文 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 康中波 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/07/09 MOEMS光学电流传感器研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 鲁亮   收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/06 光栅光阀(GLV)  光学电流传感器  双端固支梁     纳米谐振器结构的加工技术研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 许科峰   收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS/NEMS  谐振器  Q值  频率     基于压阻检测的双端固支硅纳米梁研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 赵全斌   收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/03/06 微纳机电系统  双端固支硅纳米梁  压阻检测  Ar离子注入  谐振特性