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题名	MOEMS光学电流传感器研究
作者	鲁亮
学位类别	硕士
答辩日期	2008
授予单位	中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）
导师	吴亚明
关键词	光栅光阀(GLV) 光学电流传感器 双端固支梁
学位专业	微电子学与固体电子学
中文摘要	光学电流传感器是电流传感器未来的重要发展方向。采用光学方法与电学相结合的方案对高压电网中的电流进行实时监控和测量,具有绝缘性能好、抗干扰能力强、测量精度高等突出的优势。而当前正日益成熟的微光机电系统(MOEMS)技术,以其低成本、高性能以及多用途等特点为光学电流传感器的发展提供了新的空间。 本文将光学电流传感器的设计思想与优良的MOEMS光学调制器光栅光阀(GLV)相结合,创新性地提出了一种新的MOEMS光学电流传感器的设计方案,并对测量芯片的制作工艺进行了探索。该方案具有温度稳定性好、大电流下测量精度高
语种	中文
公开日期	2012-03-06
内容类型	学位论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82905]
专题	上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	鲁亮  . MOEMS光学电流传感器研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  . 2008.

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