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厦门大学 [5]
内容类型
学位论文 [5]
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2014 [2]
2009 [1]
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内容类型:学位论文
专题:厦门大学
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气囊抛光机床精度及元件面形中频控制研究
学位论文
2016, 2015
姜涛
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2017/06/20
Bonnet Polishing
Volumetric Error
Material Removal Rate
Mid-spatial Frequency Error
M Shape Removal Function
气囊抛光
空间误差
去除效率
中频误差
M去除函数
大口径平面光学元件快速抛光技术研究
学位论文
2015, 2009
杨炜
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/02/23
快速抛光,Preston公式,压强分布,材料去除率,材料去除模型
fast polishing, Preston equation, pressure distribution, material removal rate material removal model
光学元件磨抛加工亚表面损伤分析与检测技术研究
学位论文
2014, 2014
吴沿鹏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/01/12
光学元件
亚表面损伤
磨削
抛光
化学蚀刻
Optical Elements
Subsurface Damage
Grind
Polish
Chemical Etch
智能抛光方法去除特性及控制技术研究
学位论文
2014, 2014
谢银辉
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/01/12
智能抛光
去除特性
运动控制
路径规划
Intelligent Polishing
Removal Characteristic
Motion Control
Path Planning
GaN LED 器件外延膜的激光剥离的研究
学位论文
2009, 2009
黄瑾
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浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2016/02/14
GaN
激光剥离
蓝宝石衬底抛光
衬底加热
GaN
laser lift-off
polishing technique of sapphire substrate
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