| 题名 | 大口径平面光学元件快速抛光技术研究; Research on the fast polishing process of the large optical plane wafer |
| 作者 | 杨炜 |
| 答辩日期 | 2015 ; 2009 |
| 导师 | 郭隐彪 |
| 关键词 | 快速抛光，Preston公式，压强分布，材料去除率，材料去除模型 fast polishing, Preston equation, pressure distribution, material removal rate material removal model |
| 英文摘要 | 针对激光核聚变研究，我国相关部门己建成神光I,II和星光I,II高功率激光装置。现在进行的神光m原型装置的建设和研究更是一项庞大而又复杂的巨型工程，其对光学原件的要求无论是质量上还是数量上都是空前的。目前，我国大尺寸高精密光学元件的加工水平和世界上技术先进的国家相比还有相当的差距，提高大尺寸光学元件特别是非球面元件的高效批量化加工，是摆在我国光学制造领域的一个重要课题，也是对目前光学制造领域的一次严峻挑战。因此，发展先进光学制造技术以提高大尺寸高精度光学元件的加工质量和生产效率，是确保神光III高功率激光装置工程顺利实施的关键。光学表面的自动化加工技术，是解决这一技术难关的绝佳途径。 光学元...; According to the research on the laser-based nuclear fusion, China has manufactured its own laser device-Shen Guang I、II and Xing Guang I、II. Now it is a big and complex project for researching on the Shen Guang III which needs a large manufacturing the ultra of fine optical components. So far our technology of fine optical components falls behind the other countries, just like the USA and Ja...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院_测试计量技术及仪器; 学号：19920060153193 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=51297 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/97523]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨炜. 大口径平面光学元件快速抛光技术研究, Research on the fast polishing process of the large optical plane wafer[D]. 2015, 2009. |
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