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基于阳极键合工艺的芯片级原子钟~(85)Rb微型气室封装 其他
2009-01-01
苏娟; 邓科; 何凯旋; 汪中; 郭等柱
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用于MEMS器件芯片级封装的金-硅键合技术研究 其他
2003-01-01
刘雪松; 闫桂珍; 郝一龙; 张海霞
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MEMS中的封装技术研究 其他
2003-01-01
石云波; 刘俊; 张文栋
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