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	基于阳极键合工艺的芯片级原子钟~(85)Rb微型气室封装
	苏娟 ; 邓科 ; 何凯旋 ; 汪中 ; 郭等柱
	2009
关键词	阳极键合 微型气室 芯片级原子钟 CPT信号
英文摘要	微型气室的制作是微型原子钟和微型磁力计等器件研制中不可或缺的关键技术。本课题组基于阳极键合技术,在打孔硅片的一面先键合了Pyrex玻璃,通过叠氮化钡和氯化铷的化学反应将生成的金属铷和缓冲气体充入硅片小孔中,然后在硅片另外一面键合Pyrex玻璃进行密封,从而实现了几个mm3体积的微型85Rb原子气室封装。测得了该气室的CPT信号,线宽为1.7kHz,吸收对比度约为1.5%,能够满足芯片级原子钟的实验要求。; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/85252]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	苏娟,邓科,何凯旋,等. 基于阳极键合工艺的芯片级原子钟~(85)Rb微型气室封装. 2009-01-01.

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