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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 会议论文 第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 中国北京, CNKI, 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会 阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天; RUAN Yong; YE Shuang-li; ZHANG Da-cheng; REN Tian-ling; LIU Li-tian 收藏  |  浏览/下载：7/0 High aspect ratio copper through-silicon-vias for 3D integration 会议论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 12th European Workshop on Materials for Advanced Metallization, Dresden, GERMANY, Web of Science Song, Chongshen; Wang, Zheyao; Chen, Qianwen; Cai, Jian; Liu, Litian 收藏  |  浏览/下载：5/0 新型硅基GaN外延材料的热应力模拟 会议论文 第六届中国功能材料及其应用学术会议, 2007 王曦; 孙佳胤; 武爱民; 陈静; 王曦 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/18 氮化镓 宽禁带半导体材料 SOI衬底 热膨胀系数 反应离子刻蚀   先进体硅机械加工技术——从微米到纳米 会议论文 第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006 李昕欣; 王跃林; 李铁; 杨恒; 焦继伟 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/01/18 硅的电化学深刻蚀技术 会议论文 第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会, 2005 王连卫; 吴俊徐; 陈瑜 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/01/18 硅衬底 电化学深刻蚀 传感器 深反应离子刻蚀 阳极氧化 微纳米通道   一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化 会议论文 中国微米/纳米第六届学术年会, 2003 黄树森; 郭南翔; 黄晖; 宋朝辉; 李欣昕; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/01/18 加速度传感器 结构优化 灵敏度 自由振动 振动频率 深反应离子刻蚀   一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器 会议论文 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 黄树森; 李昕欣; 戈肖鸿; 解健芳; 陈士清; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/01/18 微梁直拉直压 压阻 加速度传感器 有限元模拟 深反应离子刻蚀(DRIE)