一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化

	一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化
	黄树森 ; 郭南翔 ; 黄晖 ; 宋朝辉 ; 李欣昕 ; 王跃林
	2003
会议名称	中国微米/纳米第六届学术年会
会议日期	2003
关键词	加速度传感器结构优化灵敏度自由振动振动频率深反应离子刻蚀
中文摘要	给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理.该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率.基于分析模型,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则.采用SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE)工艺给出了传感器的制造和测试结果.
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7030300.aspx
会议录	中国微米/纳米第六届学术年会论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/56039]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	黄树森,郭南翔,黄晖,等. 一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化[C]. 见:中国微米/纳米第六届学术年会. 2003.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7030300.aspx.