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| 一种激光加工晶圆的方法及装置 专利
专利号: CN201710574908.7, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-09-29
作者: 侯煜 ; 刘嵩; 张紫辰
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| 一种应用于石英基材的碳化硼涂层的制备方法 专利
专利号: CN201310695413.1, 申请日期: 2018-07-13, 公开日期: 2015-06-17
作者: 王文东; 夏洋; 李楠
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| 基于湿法预释放结构的MEMS红外光源 专利
专利号: CN201621033986.3, 申请日期: 2017-03-15,
作者: 王玮冰; 陈大鹏; 孙西龙; 刘卫兵; 明安杰
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| 三维半导体器件制造方法 专利
申请日期: 2014-05-16,
作者: 霍宗亮
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| 基于浅沟道隔离技术的化学机械研磨终点检测方法及系统 专利
专利号: CN201110335135.X, 申请日期: 2014-04-02, 公开日期: 2012-03-28
作者: 叶甜春; 陈岚; 徐勤志; 阮文彪
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| 一种碳基半导体器件制备工艺中对衬底进行预处理的方法 专利
专利号: CN103456607A, 申请日期: 2013-12-18,
作者: 史敬元; 金智; 张大勇; 麻芃; 彭松昂
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| 一种提高碳基半导体器件迁移率的衬底处理方法 专利
专利号: CN103441223A, 申请日期: 2013-12-11,
作者: 麻芃; 彭松昂; 张大勇; 金智; 史敬元
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| 一种芯片表面形貌仿真的方法及装置 专利
申请日期: 2013-03-21,
作者: 徐勤志; 陈岚
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| 一种对蓝宝石晶片进行减薄的方法 专利
专利号: CN201010145284.5, 申请日期: 2013-02-06, 公开日期: 2011-10-12
作者: 庞磊; 汪宁; 陈晓娟; 罗卫军; 刘新宇
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| 一种制备低表面粗糙度氧化锌薄膜的方法 专利
申请日期: 2012-12-10,
作者: 张阳; 李超波; 夏洋; 解婧; 卢维尔
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