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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2015    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 采用KOH溶液的硅基MEMS器件湿法释放方法 专利 专利号: CN201210062362.4, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2013-09-18 作者:  卢狄克;  李志刚;  刘瑞文;  陈大鹏;  尚海平 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/06/17 半导体器件及其制造方法 专利 专利号: CN201110300828.5, 申请日期: 2015-08-05, 公开日期: 2013-04-10 作者:  殷华湘;  徐秋霞;  陈大鹏 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/09/18 制热型MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法 专利 专利号: CN201310183551.1, 申请日期: 2015-06-10, 公开日期: 2013-08-14 作者:  毛海央;  欧文 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2016/06/17 微纳尺度材料赛贝克系数测量机构的制备方法 专利 专利号: CN201310002846.4, 申请日期: 2015-03-18, 公开日期: 2013-04-17 作者:  欧毅;  欧文;  毛海央;  陈大鹏 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2016/06/17