制热型MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法

	制热型MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法
	毛海央; 欧文
	2015-06-10
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN201310183551.1
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明涉及一种致热型MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法，其包括衬底；衬底的上表面设置介质支撑膜，衬底内的上部形成热隔离腔体；热隔离腔体的正上方设有红外吸收层，红外吸收层的外侧设有若干热电堆，热电堆对应邻近红外吸收层的一端形成探测冷端，热电堆对应远离红外吸收层的一端形成探测热端，热电堆的探测冷端与红外吸收层相接触，热电堆的探测热端位于介质支撑膜上并通过第一电绝缘热导通结构与微型加热电阻条相连；所述微型加热电阻条与位于相互串接的热电堆外侧的第二金属电极电连接。本发明结构简单，制备过程便捷，亦能与CMOS工艺相兼容，便于单片集成，且输出电压值、灵敏度等可以被有效调控，因而适用范围广，安全可靠。
公开日期	2013-08-14
申请日期	2013-05-16
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/15322]
专题	微电子研究所_智能感知研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	毛海央,欧文. 制热型MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法. CN201310183551.1. 2015-06-10.