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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2011    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种新型复合磨料对铜的化学机械抛光研究 期刊论文 功能材料与器件学报, 2011, 期号: 05 张磊; 汪海波; 张泽芳; 王良咏; 刘卫丽; 宋志棠 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/04/13 PS/SiO2  复合磨料  铜  化学机械抛光   用于InP基DHBT制备的GaAs_(0.51)Sb_(0.49)湿法腐蚀研究(英文) 期刊论文 电子器件, 2011, 期号: 01 孙浩; 齐鸣; 艾立鹍; 徐安怀; 滕腾; 朱福英 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/04/13 镓砷锑  湿法腐蚀  磷化铟  双异质结晶体管   表面粗糙化来提高SiO_2中纳米硅的拉曼强度 期刊论文 中国科学:物理学 力学 天文学, 2011, 期号: 07 张有为; 毕大炜; 公祥南; 边惠; 万里; 唐东升 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/04/13 纳米硅  拉曼散射  声子限制   高k材料Ta_2O_5结构与电学性质的研究 期刊论文 功能材料, 2011, 期号: 07 陈息林; 余涛; 吴雪梅; 董尧君; 诸葛兰剑 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/04/13 高k栅介质  Ta2O5  MOSFET器件  微结构  电学性质