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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2011    内容类型：专利    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于模拟退火算法的自适应压力控制的原子层沉积设备 专利 申请日期: 2011-10-13, 作者:  王燕;  石莎莉;  赵章琰;  夏洋;  李勇滔 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2016/09/14 一种平板电极固定结构 专利 申请日期: 2011-09-26, 公开日期: 2012-11-20 作者:  张庆钊;  席峰;  李勇滔;  李楠;  夏洋 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/11/20 一种用于离子中性化的网板结构 专利 申请日期: 2011-09-26, 公开日期: 2012-11-20 作者:  李勇滔;  张庆钊;  席峰;  夏洋;  李楠 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2012/11/20 高压器件的外延层制造方法 专利 申请日期: 2011-08-16, 作者:  王红丽;  李俊峰 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2016/09/18 一种微型低压气相淀积实验装置 专利 申请日期: 2011-06-20, 公开日期: 2012-11-20 作者:  郭新贺;  景玉鹏;  王磊 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/11/20