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科研机构
上海微系统与信息技... [15]
内容类型
期刊论文 [15]
发表日期
2008 [15]
学科主题
Optics [8]
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Electroche... [1]
Electroche... [1]
Engineerin... [1]
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共15条,第1-10条
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发表日期:2008
专题:上海微系统与信息技术研究所
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75
80
85
90
95
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Investigation of environmental friendly Te-free SiSb material for applications of phase-change memory
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2008, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 55010-55010
Zhang, T
;
Song, ZT
;
Liu, B
;
Feng, SL
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/03/24
RANDOM-ACCESS MEMORY
CRYSTALLIZATION
TRANSITION
STORAGE
FILMS
Layout optimization for thick-film resist overlay metrology - art. no. 682726
期刊论文
QUANTUM OPTICS, OPTICAL DATA STORAGE, AND ADVANCED MICROLITHOGRAPHY, 2008, 卷号: 6827, 页码: 82726-82726
Zhu, L
;
Li, J
;
Zhou, B
;
Gu, YL
;
Yang, S
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/24
High-Quality Thick GaN Overgrown on an Array of SiO2 Nanomasks by HVPE
期刊论文
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2008, 卷号: 155, 期号: 12, 页码: H1000-H1002
Wang, XZ
;
Yu, GH
;
Lin, CT
;
Cao, MX
;
Lu, HF
;
Gong, H
;
Li, XL
;
Qi, M
;
Li, AZ
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
LIGHT-EMITTING-DIODES
EPITAXIAL GAN
FABRICATION
FILMS
Thick GaN grown on a nanoporous GaN template by hydride vapor phase epitaxy
期刊论文
ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS, 2008, 卷号: 11, 期号: 10, 页码: H273-H275
Wang, XZ
;
Yu, GH
;
Lin, CT
;
Cao, MX
;
Gong, H
;
Qi, M
;
Li, AZ
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
HIGH-QUALITY GAN
PLANE SAPPHIRE
POROUS GAN
FILMS
NANOHETEROEPITAXY
FABRICATION
EPILAYERS
LAYERS
SI
High-speed and large-scale electromagnetically actuated MEMS scanning-mirror - art. no. 683609
期刊论文
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS III, 2008, 卷号: 6836, 页码: 83609-83609
Mu, CJ
;
Zhang, FL
;
Wu, YM
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2011/12/17
Experimental study on roughness and flatness of micromirror fabricated by different anisotropic silicon etching processes - art. no. 683605
期刊论文
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS III, 2008, 卷号: 6836, 页码: 83605-83605
Xu, J
;
Huang, ZX
;
Xu, XX
;
Wu, YM
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2011/12/17
SURFACE
Rapid and simple half-quantitative measurement alpha-fetoprotein by poly(dimethylsiloxane) microfluidic chip immunochromatographic assay - art. no. 68360B
期刊论文
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS III, 2008, 卷号: 6836, 页码: B8360-B8360
Tong, C
;
Jin, QH
;
Zhao, JL
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2011/12/17
LIQUID-CHROMATOGRAPHY
ELECTROPHORESIS
SYSTEM
A novel fabrication process of MEMS devices on polyimide flexible substrates
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 2, 页码: 452-457
Xiao, SY
;
Che, LF
;
Li, XX
;
Wang, YL
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2011/12/17
SENSOR ARRAY
HEATER
FILMS
SKIN
Optical MEMS devices based on micromachined torsion structure - art. no. 683606
期刊论文
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS III, 2008, 卷号: 6836, 页码: 83606-83606
Wu, YM
;
Xu, J
;
Li, SH
;
Wan, ZJ
;
Mu, CJ
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2011/12/17
ATTENUATOR
A novel fabrication process of MEMS devices on polyimide flexible substrates
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 2, 页码: 452-457
Xiao, SY
;
Che, LF
;
Li, XX
;
Wang, YL
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2011/12/17
SENSOR ARRAY
HEATER
FILMS
SKIN
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