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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：河北大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序作者升序作者降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序 INVESTIGATION OF Ta/Ni-Al INTEGRATED FILM USED AS A DIFFUSION BARRIER LAYER BETWEEN Cu AND Si 期刊论文 SURFACE REVIEW AND LETTERS, 2014, 卷号: 21, 期号: 6 作者:  Yang, Lim[1];  Wang, Shi Jie[2];  Huo, Ji Chuan[3];  Li, Xiao Hong[4];  Guo, Jian Xin[5] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/21 Diffusion barrier  Cu interconnect  amorphous Ni-Al  Ta  thin film  sputtering   含铜铁电电容器SrRuO_3/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/SrRuO_3/Ni-Al/Cu/Ni-Al/SiO_2/Si异质结的研究 期刊论文 物理学报, 2011, 卷号: 60, 期号: 11, 页码: 650-658 作者:  陈剑辉[1];  刘保亭[2];  赵庆勋[3];  崔永亮[4];  赵冬月[5] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/21 Cu  PZT  铁电电容器  Ni-Al   Integration of SRO/PZT/SRO/Ni-Al/Cu/Ni-Al/SiO2/Si ferroelectric capacitor with copper 期刊论文 ACTA PHYSICA SINICA, 2011, 卷号: 60, 期号: 11 作者:  Chen Jian-Hui[1];  Liu Bao-Ting[2];  Zhao Qing-Xun[3];  Cui Yong-Liang[4];  Zhao Dong-Yue[5] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/21 copper  PZT  ferroelectric capacitor  Ni-Al   含铜铁电电容器SrRuO_3/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/SrRuO_3/Ni-Al/Cu/Ni-Al/SiO_2/Si 异质结的研究 期刊论文 物理学报, 2011, 卷号: 60, 期号: 11, 页码: 117701-1-117701-9 作者:  陈剑辉[1];  刘保亭[2];  赵庆勋[3];  崔永亮[4];  赵冬月[5] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/21 Cu  PZT  铁电电容器  Ni-Al   Barrier Performance of Various Thick Polycrystalline Ni-Al Films for Integrating PbZr0.4Ti0.6O3 Capacitors on Si 期刊论文 JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2010, 卷号: 157, 期号: 6, 页码: G127-G129 作者:  Guo, Y. N.[1];  Liu, B. T.[2];  Zhao, J. W.[3];  Zhou, Y.[4];  Yan, X. B.[5] 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/21 Ni-Al diffusion barrier layer for integrating ferroelectric capacitors on Si 期刊论文 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2006, 卷号: 88, 期号: 25 作者:  Liu, B. T.[1];  Cheng, C. S.[2];  Li, F.[3];  Ma, L.[4];  Zhao, Q. X.[5] 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/31