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| 一种激光加工晶圆的方法及装置 专利
专利号: CN201710575956.8, 申请日期: 2018-11-09, 公开日期: 2017-09-29
作者: 侯煜 ; 刘嵩; 张紫辰
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| 一种激光加工晶圆的方法及装置 专利
专利号: CN201710574565.4, 申请日期: 2018-10-23, 公开日期: 2017-09-29
作者: 侯煜; 刘嵩; 张紫辰
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| 一种激光加工晶圆的方法及装置 专利
专利号: CN201710574908.7, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-09-29
作者: 侯煜; 刘嵩; 张紫辰
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| 一种激光加工晶圆的装置及方法 专利
专利号: CN201710575459.8, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-12-05
作者: 张紫辰; 侯煜; 刘嵩
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| 一种激光加工晶圆的方法及装置 专利
专利号: CN201710575865.4, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-10-17
作者: 刘嵩; 侯煜; 张紫辰
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| 一种激光加工晶圆的方法及装置 专利
专利号: CN201710574325.4, 申请日期: 2018-09-14, 公开日期: 2018-02-13
作者: 侯煜; 刘嵩; 张紫辰
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| 多能离子注入实现阶梯状掺杂浓度分布的方法 专利
专利号: CN201110412636.3, 申请日期: 2013-08-14, 公开日期: 2012-05-09
作者: 申华军; 刘新宇; 杨成樾; 刘焕明; 周静涛
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| 一种用于等离子体浸没注入中控制注入元素分布陡度的方法 专利
申请日期: 2011-12-12, 公开日期: 2012-11-20
作者: 夏洋; 李超波; 汪明刚
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