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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：电工研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于扫描电镜的电子束曝光机对准系统的研制 期刊论文 微细加工技术, 2010 方光荣 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2010/09/29 高分辨率成像系统波像差检测中的图像处理技术研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1刘景峰,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/10/18 波像差  相移点衍射干涉仪  Schwarzschild投影物镜  傅立叶变换  干涉图  相位展开 wavefront aberration  phase-shifting point diffraction interferometer(PS/PDI)  Schwarzschild project optics  Fourier-Transform  interferogram  phase unwrapping   基于SEM的电子束曝光软件系统研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1魏淑华,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/10/18 电子束曝光  软件系统  数据格式  图形分割  邻近效应校正 Electron beam lithography  Software system  Exposure data format  Graphics segmentation  Proximity effect correction   高能电子束缩小投影曝光机标记信号检测及对准技术的研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2002 1史强,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/10/18 电子束缩小投影曝光机  信号检测  对准技术  数字处理技术  模拟软件  标记图形设计 alignment technology  software of alignment simulation  digital process technology  signal detection  mark image designation  PELDI