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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2001     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于计算硅各向异性腐蚀速率的新方法 其他 2001-01-01 姜岩峰; 黄庆安; 吴文刚; 郝一龙; 杨振川 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 各向异性腐蚀  激活能  腐蚀速率  体加工工艺  微机械电子系统   利用LIGA技术研制超微步进电机 期刊论文 微特电机, 2001, 期号: 3, 页码: 18-20 作者:  伊福廷;  彭良强;  张菊芳;  韩勇 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA技术  超微步进电机  微机械系统  微加工技术   面向MEMS的微细加工技术 期刊论文 电加工与模具, 2001, 页码: 1-6 作者:  罗均[1];  谢少荣[2];  龚振邦[3] 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/05/11 微机械  MEMS  微细加工技术   微电子机械系统的研究进展 期刊论文 国外电子元器件, 2001, 期号: 1, 页码: 4-9 作者:  李炳乾;  朱长纯;  刘君华 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/01/07 微机械器件  MEMS  微加工技术   基于MEMS技术的微温度传感器的研制 学位论文 2001 作者:  姚鹏 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/01/07 MEMS  温度场  温度传感器  微机械加工  性能测试