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	用于计算硅各向异性腐蚀速率的新方法
	姜岩峰 ; 黄庆安 ; 吴文刚 ; 郝一龙 ; 杨振川
	2001
关键词	各向异性腐蚀 激活能 腐蚀速率 体加工工艺 微机械电子系统
英文摘要	提出了一个用于计算硅各向异性腐蚀速率的新方法.此方法从微观角度出发,根据实际的腐蚀化学反应过程确定了若干微观状态,根据统计物理的主方程组的方法,同时将腐蚀温度、浓度等对腐蚀速率的影响考虑了进去,列出了各微观状态之间相互转换的关系式.根据以上提出的关系算出了各主要晶面的腐蚀速率,并且将计算结果与实验结果进行了对比,结果证明了此算法的合理性,本文作者提出的微观参数可以看作是宏观参数在微观状态的反应.; 0
语种	中文
内容类型	其他
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/286158]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	姜岩峰,黄庆安,吴文刚,等. 用于计算硅各向异性腐蚀速率的新方法. 2001-01-01.

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