| 面向MEMS的微细加工技术 | |
| 罗均[1]; 谢少荣[2]; 龚振邦[3] | |
| 刊名 | 电加工与模具
 |
| 2001 | |
| 页码 | 1-6 |
| 关键词 | 微机械 MEMS 微细加工技术 |
| ISSN号 | 1000-7733 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2420454 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | [1]上海大学[2]上海大学[3]上海大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗均[1],谢少荣[2],龚振邦[3]. 面向MEMS的微细加工技术[J]. 电加工与模具,2001:1-6. |
| APA | 罗均[1],谢少荣[2],&龚振邦[3].(2001).面向MEMS的微细加工技术.电加工与模具,1-6. |
| MLA | 罗均[1],et al."面向MEMS的微细加工技术".电加工与模具 (2001):1-6. |
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