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高能物理研究所 [2]
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大连理工大学 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
内容类型
期刊论文 [5]
会议论文 [1]
发表日期
2004 [6]
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发表日期:2004
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铜材料X射线聚焦组合透镜的设计与制作
期刊论文
光学技术, 2004, 期号: 01, 页码: 20-23
叶坚
;
乐孜纯
;
梁静秋
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2013/03/11
铜材料X射线聚焦组合透镜
透镜参数设计
准LIGA制作工艺
基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
期刊论文
电加工与模具, 2004, 期号: S1, 页码: 39-41+94
作者:
邹丽芸
;
张院春
;
彭良强
;
黄军容
;
伊福廷
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2015/12/25
微细加工
LIGA技术
电火花加工
基于LIGA技术的微细电火花加工
期刊论文
机械工人.冷加工, 2004, 期号: 1, 页码: 26-28
作者:
彭良强
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2015/12/25
微细电火花加工
LIGA技术
微细加工技术
工具电极
微型机电系统
研究机构
喷墨打印机
成形电极
特种加工
磨削工艺
基于电子束光刻的LIGA技术研究
期刊论文
微细加工技术, 2004, 期号: 01, 页码: 18-22
作者:
孔祥东,张玉林,魏守水
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/03
LIGA
电子束光刻
刻蚀深度
曝光剂量
LIGA工艺的发展及应用
期刊论文
微纳电子技术, 2004, 期号: 05, 页码: 13-18+27
作者:
孔祥东,张玉林,宋会英
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/03
LIGA
光刻胶
X射线
曝光
微型模具制造技术研究与发展
会议论文
全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议, 哈尔滨, 2004-06-16
作者:
于同敏
;
宫德海
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2020/01/02
微型制件
微细加工
LIGA技术
微型模具制造
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