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浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 限定条件 发表日期：2002     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于微机械工艺的平面电机及其制作 会议论文 中国北京 郭占社; 吴一辉; 张平; 梁静秋 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/03/19 平面微电机  定子  转子  LIGA工艺   UV_LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究 期刊论文 微细加工技术, 2002, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 40--43 余国彬; 姚汉民; 胡松 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2014/12/09 深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用 期刊论文 微纳电子技术, 2002, 卷号: 39, 期号: 4, 页码: 30--32 余国彬; 姚汉民; 胡松 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2014/12/09 LIGA技术制备正电子慢化体的实验研究 期刊论文 核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 893-896 作者:  黄军容;  彭良强;  伊福廷;  于润升;  魏龙 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA技术  正电子慢化体   LIGA工艺在工程中的两类应用 期刊论文 核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 883-888 作者:  高杨;  李枚;  彭良强;  张菊芳;  黄军容 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA  密码锁  加速度开关  MEMS   同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术 期刊论文 物理, 2002, 期号: 11, 页码: 736-740 作者:  刘刚;  田扬超;  伊福廷;  彭良强 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA技术  微电子机械系统  同步辐射光刻   质子LIGA工艺的探讨 期刊论文 微纳电子技术, 2002, 期号: 5, 页码: 34-36 作者:  彭良强;  徐韬光;  韩勇;  伊福廷;  张菊芳 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2015/12/25 微细加工  质子束  准LIGA   LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究 期刊论文 微细加工技术, 2002, 期号: 2, 页码: 72-74 作者:  彭良强;  伊福廷;  张院春;  邹丽芸;  张菊芳 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2015/12/25 微细加工  LIGA技术  电火花加工   利用LIGA技术制作过滤介质 期刊论文 过滤与分离, 2002, 期号: 4, 页码: 11--13 作者:  黄军容;  彭良强;  伊福廷;  张菊芳;  韩勇 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2015/12/25 过滤介质  LIGA技术  制作