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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 发表日期：2000     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 LIGA技术基础研究 期刊论文 光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 38-41 梁静秋; 姚劲松 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/03/11 LIGA技术  光刻  掩膜  电铸   三维微加工新技术--DEM技术研究 期刊论文 高技术通讯, 2000 赵旭; 陈迪; 张大成 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 新型全硅LIGA掩模板制造工艺研究 其他 2000-01-01 陈迪; 雷蔚; 王水; 张大成; 伊福廷; 李昌敏; 郭晓芸; 毛海平 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 LIGA掩模板  ICP深刻蚀  LIGA技术  刻蚀工艺  掩摸板  微电铸  LIGA   上海第三代同步辐射装置及其在光刻和LIGA中的应用 期刊论文 半导体技术, 2000, 卷号: 25, 期号: 1, 页码: 3，11-13 作者:  谢常青;  叶甜春 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2010/05/25 同步辐射光源  X射线光刻  Liga   一种采用双面对准的硅LIGA掩模制作研究 期刊论文 微细加工技术, 2000, 期号: 4, 页码: 45-49 作者:  刘泽文;  刘理天;  伊福廷;  李志坚 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2015/12/25 X射线  光刻  LIGA  MEMS  掩模   变面积结构微机械电容式加速度传感器 期刊论文 中国工程科学, 2000, 期号: 02 李宝清; 陆德仁; 王渭源 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2012/03/29 博士论文-LIGA技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2000 作者:  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2015/10/12 LIGA技术  MEMS技术  微细加工技术  同步辐射光刻  微结构技术