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高能物理研究所 [2]
长春光学精密机械与物... [1]
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
1995 [4]
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发表日期:1995
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准LIGA工艺技术在加工微金属齿轮中的应用
期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 03, 页码: 64-66
姚劲松
;
王志勤
;
王飞
;
宣明
;
梁静秋
;
王一凡
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2013/03/11
微型机械
LIGA工艺
准LIGA工艺
微齿轮
金属镍微型静电马达的初步研制
期刊论文
传感技术学报, 1995, 期号: 02
王添平
;
王效东
;
解健芳
;
谭淞生
;
王渭源
收藏
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2012/03/29
电铸在LIGA技术中的应用
期刊论文
微细加工技术, 1995, 期号: 3, 页码: 49-52
作者:
伊福廷
;
晋明
;
吴坚武
;
冼鼎昌
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2015/12/07
微细加工
LIGA技术
电铸
LIGA技术的掩模制造
期刊论文
微细加工技术, 1995, 期号: 2, 页码: 33-37
作者:
伊福廷
;
吴坚武
;
晋明
;
冼鼎昌
;
刘金声
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2015/12/07
同步辐射光刻
X光曝光掩模
微结构
微细加工
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