电铸在LIGA技术中的应用

	电铸在LIGA技术中的应用
	伊福廷; 晋明; 吴坚武; 冼鼎昌
刊名	微细加工技术
	1995
期号	3 页码:49-52
关键词	微细加工 LIGA技术电铸
其他题名	FABRICATION OF MICROSTRUCTURES USING ELECTRODEPOSITION
通讯作者	伊福廷
中文摘要	近年来，电铸在微细加工中的应用得到了较快发展，尤其在近几年高速发展的ＬＩＧＡ技术的掩模加工和其应用产品中，该技术充分体现出了它的优越性能和潜在的应用前景。本文结合ＬＩＧＡ技术掩模的加工及其电铸产品，用已取得的实验结果来说明电铸的应用潜力。
公开日期	2016-02-26
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/215221]
专题	高能物理研究所_院士高能物理研究所_多学科研究中心
推荐引用方式 GB/T 7714	伊福廷,晋明,吴坚武,等. 电铸在LIGA技术中的应用[J]. 微细加工技术,1995(3):49-52.
APA	伊福廷,晋明,吴坚武,&冼鼎昌.(1995).电铸在LIGA技术中的应用.微细加工技术(3),49-52.
MLA	伊福廷,et al."电铸在LIGA技术中的应用".微细加工技术 .3(1995):49-52.