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科研机构
清华大学 [1]
微电子研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2010 [1]
2005 [1]
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Zr过渡层对Al膜微结构与性能的影响
期刊论文
2010, 2010
李冬梅
;
王旭波
;
潘峰
;
牛洁斌
;
刘明
;
LI Dong-mei
;
WANG Xu-bo
;
PAN Feng
;
NIU Hao-bin
;
LIU Ming
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Zr过渡层对Al膜微结构与性能的影响
期刊论文
压电与声光, 2005, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 5,152-155,163
作者:
牛洁斌
;
李冬梅
;
王旭波
;
潘峰
;
刘明
收藏
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提交时间:2010/05/26
Al膜
Zr过渡层
附着力
电阻
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