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贵州大学 [3]
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F原子与Si表面相互作用的动力学研究
期刊论文
2012, 卷号: 32, 期号: 1, 页码: 53-58
作者:
赵成利
;
邓朝勇
;
孙伟中
;
吕晓丹
;
陈峰
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提交时间:2019/12/28
分子动力学
沉积
刻蚀
Si-F反应层
分子动力学模拟入射角度对F离子与β-SiC表面相互作用的影响
期刊论文
2011, 卷号: 34, 期号: 1, 页码: 51-55
作者:
赵成利
;
孙伟中
;
吕晓丹
;
陈峰
;
贺平逆
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/02
分子动力学
入射角度
刻蚀
Si-C-F反应层
分子动力学模拟入射角度对F原子与β-SiC表面相互作用的影响
会议论文
中国辽宁大连, 2010-06-30
作者:
赵成利
;
秦尤敏
;
吕晓丹
;
宁建平
;
贺平逆
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提交时间:2020/01/05
分子动力学
入射角度
Si-C-F反应层
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