| 分子动力学模拟入射角度对F原子与β-SiC表面相互作用的影响 | |
| 赵成利; 秦尤敏; 吕晓丹; 宁建平; 贺平逆; 陈旭; 苟富均 | |
| 2010 | |
| 会议日期 | 2010-06-30 |
| 会议地点 | 中国辽宁大连 |
| 关键词 | 分子动力学 入射角度 Si-C-F反应层 |
| 会议录 | 2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6480230 |
| 专题 | 贵州大学 |
| 作者单位 | [1]贵州大学PSI研究所MEMS课题组 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵成利,秦尤敏,吕晓丹,等. 分子动力学模拟入射角度对F原子与β-SiC表面相互作用的影响[C]. 见:. 中国辽宁大连. 2010-06-30. |
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