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Controllable a-Si:H/c-Si interface passivation by residual SiH4 molecules in H-2 plasma 期刊论文
SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS, 2018, 卷号: 174, 页码: 233-239
作者:  Liu, Wenzhu;  Zhang, Liping;  Cong, Shiyuan;  Chen, Renfang;  Wu, Zhuopeng
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Two-dimensional fluid simulation on transient behavior and plasma uniformity in pulsed RF CCP sustained in SiH4/N-2/O-2 期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2017, 卷号: 50
作者:  Jia, Wen-Zhu;  Wang, Xi-Feng;  Song, Yuan-Hong;  Wang, You-Nian
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02
射频容性耦合SiH4/Ar放电中反转电场及电子能量分布的模拟 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者:  王喜凤;  宋远红;  戴忠玲;  王友年
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二维流体模拟SiH_4/N_2/O_2放电中均匀性改善和前驱物的研究 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者:  贾文柱
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02
Hybrid Simulation of Duty Cycle Influences on Pulse Modulated RF SiH4/Ar Discharge 期刊论文
PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2016, 卷号: 18, 页码: 394-399
作者:  Wang Xifeng;  Song Yuanhong;  Zhao Shuxia;  Dai Zhongling;  Wang Younian
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/12/09
A comparison study of the H + CH4 and H + SiH4 reactions with eight-dimensional quantum dynamics: normal mode versus local mode in the reactant molecule vibration 期刊论文
THEORETICAL CHEMISTRY ACCOUNTS, 2014, 卷号: 133, 期号: 10
作者:  Wang, Yan;  Li, Jun;  Guo, Hua;  Yang, Minghui
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Synthesis and characterization of AlTiSiN/CrSiN multilayer coatings by cathodic arc ion-plating 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2014, 卷号: 314
作者:  Yang, B.;  Tian, C. X.;  Wan, Q.;  Yan, S. J.;  Liu, H. D.
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/12/05
The effects of process conditions on the plasma characteristic in radio-frequency capacitively coupled SiH4/NH3/N-2 plasmas: Two-dimensional simulations 期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2013, 卷号: 22, 页码: -
作者:  Liu Xiang-Mei;  Song Yuan-Hong;  Jiang Wei;  Yi Lin
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/11
Theoretical Studies of the Reaction Paths and Rate Constants for SiH4 + H System 期刊论文
Asian Journal of Chemistry, 2012, 卷号: 24, 期号: 4, 页码: 1798-1804
作者:  Qi, Chuansong;  Sun XM(孙孝敏)
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/04/27
硅基薄膜太阳电池（四） 期刊论文
太阳能, 2012, 卷号: 第9期, 页码: 9-12
作者:  张晓丹;  赵颖;  熊绍珍
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/03/04

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