射频容性耦合SiH4/Ar放电中反转电场及电子能量分布的模拟 | |
王喜凤; 宋远红; 戴忠玲; 王友年 | |
2017 | |
会议名称 | 第十八届全国等离子体科学技术会议 |
会议日期 | 2017-07-01 |
会议地点 | 中国陕西西安 |
关键词 | 射频 容性耦合 SiH4/Ar混合气体 反转电场 电子能量分布 |
页码 | 1 |
会议录 | 第十八届全国等离子体科学技术会议
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URL标识 | 查看原文 |
WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3290728 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 大连理工大学物理与光电工程学院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王喜凤,宋远红,戴忠玲,等. 射频容性耦合SiH4/Ar放电中反转电场及电子能量分布的模拟[C]. 见:第十八届全国等离子体科学技术会议. 中国陕西西安. 2017-07-01. |
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