CORC  > 大连理工大学
射频容性耦合SiH4/Ar放电中反转电场及电子能量分布的模拟
王喜凤; 宋远红; 戴忠玲; 王友年
2017
会议名称第十八届全国等离子体科学技术会议
会议日期2017-07-01
会议地点中国陕西西安
关键词射频 容性耦合 SiH4/Ar混合气体 反转电场 电子能量分布
页码1
会议录第十八届全国等离子体科学技术会议
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WOS记录号[db:dc_identifier_wosid]
内容类型会议论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3290728
专题大连理工大学
作者单位大连理工大学物理与光电工程学院
推荐引用方式
GB/T 7714
王喜凤,宋远红,戴忠玲,等. 射频容性耦合SiH4/Ar放电中反转电场及电子能量分布的模拟[C]. 见:第十八届全国等离子体科学技术会议. 中国陕西西安. 2017-07-01.
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