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科研机构
河北大学 [3]
长春光学精密机械与物... [1]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
1997 [1]
1996 [1]
1994 [1]
1988 [1]
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LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究
期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1997, 期号: 04, 页码: 25-26+40
王晓华
;
任大翠
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提交时间:2013/03/11
液相外延
扫描电子显微镜
超薄层
半导体超薄层微结构的外延生长技术
期刊论文
真空科学与技术, 1996, 期号: 03, 页码: 185-192
作者:
彭英才[1]
;
王英民[2]
;
李星文[3]
;
傅广生[4]
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提交时间:2019/12/31
超晶格微结构
超薄层外延
生长机理
半导体超晶格物理与器件(11)
期刊论文
半导体杂志, 1994, 期号: 01, 页码: 46-52
作者:
彭英才[1]
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提交时间:2019/12/31
超晶格
外延工艺
超薄层
异质结
材料物理学
结构表征
衬底温度
量子阱
微结构
高能电子衍射
半导体超薄层外延技术
期刊论文
物理, 1988, 期号: 11, 页码: 673-678+670
作者:
彭英才[1]
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提交时间:2019/12/31
外延技术
超薄层
外延生长
化学气相淀积
分子束外延
原子层
半导体技术
外延层
超小型化
薄膜制备
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